擴散矽壓力控製器SC308

擴散矽壓力控製器SC308

擴散矽壓力傳(chuan) 感器工作原理

擴散矽壓力傳(chuan) 感器的壓力直接作用於(yu) 傳(chuan) 感器的膜片上（不鏽鋼或陶瓷），使膜片產(chan) 生與(yu) 介質壓力成正比的微位移，使傳(chuan) 感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，並轉換輸出一個(ge) 對應於(yu) 這一壓力的測量。

擴散矽壓力傳(chuan) 感器的特點

1、適合製作小量程的傳(chuan) 感器

矽芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區，製作壓力傳(chuan) 感器的量程可小到幾個(ge) Kpa。

2、輸出靈敏度高

矽應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳(chuan) 感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為(wei) 100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由於(yu) 傳(chuan) 感器的感受、轉換和檢測三部分由同一個(ge) 元件實現，沒有中間轉換環節，重複性和遲滯誤差較小。由於(yu) 單晶矽本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、由於(yu) 工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片大位移在亞(ya) 微米數量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環，性能，可靠性高。

5、由於(yu) 矽的優(you) 良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散矽壓力傳(chuan) 感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。

6、由於(yu) 芯片采用集成工藝，又無傳(chuan) 動部件，因此體(ti) 積小，重量輕。

擴散矽壓力控製器SC308

擴散矽壓力傳(chuan) 感器的性能參數

測量介質：與(yu) 316L不鏽鋼兼容的各種、氣體(ti) 或蒸汽

量程範圍：-100 kPa～0～2kPa…60MPa

壓力：表壓、絕壓、密封壓

恒壓供電：推薦10VDC，大15VDC

恒流供電：推薦1.5mA，大4mA

橋路電阻：4000Ω(典型值)

綜合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可選

溫度漂移：0.02%FS/℃

時間漂移：≤0.2%FS/年

補償(chang) 溫度：0～80℃

介質溫度：-40～125℃

溫度：-40～85℃。

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