擴散矽壓力變送器SC308
擴散矽壓力傳(chuan) 感器工作原理
擴散矽壓力傳(chuan) 感器的壓力直接作用於(yu) 傳(chuan) 感器的膜片上(不鏽鋼或陶瓷),使膜片產(chan) 生與(yu) 介質壓力成正比的微位移,使傳(chuan) 感器的電阻值發生變化,和用電子線路檢測這一變化,並轉換輸出一個(ge) 對應於(yu) 這一壓力的測量。
擴散矽壓力傳(chuan) 感器的特點
1、適合製作小量程的傳(chuan) 感器
矽芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區,製作壓力傳(chuan) 感器的量程可小到幾個(ge) Kpa。
2、輸出靈敏度高
矽應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳(chuan) 感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為(wei) 100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
3、精度高
由於(yu) 傳(chuan) 感器的感受、轉換和檢測三部分由同一個(ge) 元件實現,沒有中間轉換環節,重複性和遲滯誤差較小。由於(yu) 單晶矽本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
4、由於(yu) 工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片大位移在亞(ya) 微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環,性能,可靠性高。
5、由於(yu) 矽的優(you) 良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散矽壓力傳(chuan) 感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。
6、由於(yu) 芯片采用集成工藝,又無傳(chuan) 動部件,因此體(ti) 積小,重量輕。
擴散矽壓力變送器SC308
擴散矽壓力傳(chuan) 感器的性能參數
測量介質:與(yu) 316L不鏽鋼兼容的各種、氣體(ti) 或蒸汽
量程範圍:-100 kPa~0~2kPa…60MPa
壓力:表壓、絕壓、密封壓
恒壓供電:推薦10VDC,大15VDC
恒流供電:推薦1.5mA,大4mA
橋路電阻:4000Ω(典型值)
綜合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可選
溫度漂移:0.02%FS/℃
時間漂移:≤0.2%FS/年
補償(chang) 溫度:0~80℃
介質溫度:-40~125℃
溫度:-40~85℃。
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