熱式氣體質量流量計AX10FD

摘要：熱式氣體(ti) 質量流量計AX10FD

主要技術指標

產(chan) 品介紹

用途與(yu) 特點
質量流量控製器(Mass Flow Controller 縮寫(xie) 為(wei) MFC) 用於(yu) 對氣體(ti) 的質量流量進行精密測量和控製。它們(men) 在半導體(ti) 和集成電路工業(ye) 、特種材料學科、化學工業(ye) 、是有工業(ye) 、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產(chan) 中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣係統、毛細管測量、氣相色譜儀(yi) 及其他分析儀(yi) 器

工作原理

AX10FD 係列氣體(ti) 質量流量控製器的精度、堅固性及可靠性源於(yu) 我公司*的傳(chuan) 感器探頭。該密封探頭由兩(liang) 傳(chuan) 感元件組成──速度傳(chuan) 感器及溫度傳(chuan) 感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chan) 生的影響。儀(yi) 表電路將速度傳(chuan) 感器加熱到高於(yu) 氣體(ti) 溫度的一個(ge) 常數值，然後測量氣體(ti) 流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與(yu) 氣體(ti) 的質量流量成正比的原理計算流量。兩(liang) 傳(chuan) 感器均為(wei) 標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲(si) 纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(ge) 傳(chuan) 感器密封在316 不鏽鋼包裝殼內(nei) 。

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